Vad är fotolitografi?
Fotolitografi är en av de viktiga processerna i produktionen av integrerade kretsar (IC eller chips). Säg helt enkelt, det är processen att kopiera ett kretsmönster på ett substrat genom att använda fotomasken och fotoresisten.
Underlaget kommer att målas på silikondioxidisoleringsskikt och fotoresist. Fotoresisten kan lätt lösas upp med en framkallare efter att ha exponerats för UV-ljus, efter dissolver och etsning kommer kretsmönstret att finnas kvar på substratet.
Vad är Photoresist? Varför måste 500nm UV-våglängd blockera?
Fotoresist kombineras med hartser, lösningsmedel och tillsatser. Det ljuskänsliga området för fotoresist är 200nm-500nm. Därför kommer många halvledarlaboratorier att anta gult ljus som blockerar 500nm UV-våglängd för att förhindra överexponerade eller för tidigt exponerade situationer av fotoresisten.
